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IAS晶圆金属异物分析 LA-GED-MSAG-ICP-MS_J

  • 供求NO.

    442977

  • 销售对象

    技术

  • 产品分类

  • 加工分类

    其他

  • 制品用途

  • 对应材质

  • 说明

    在大气中发射飞秒雷射,用喷射器吸出释放出的微粒,用GED取代空气和Ar,可以直接用ICP-MS分析Ar气体中的微粒。
    •传统的LA-ICP-MS无法直接分析晶片样品,而LA-GED-MSAG-ICP-MS实现了这一目标。
    •VPD-ICP-MS的某些元素因药液的种类而难以回收,而LAICP-MS则没有这种问题。
    •通过使用MSAG,可以通过标准添加法进行高精度的定量分析。
    •可检测约10 μm斑点直径的金属杂质信息。
    •可检测直径约20nm的微粒子。
    •增加焦距深度可实现深度方向分析。

  • 参考价格

    6,000 RMB

  • 参考价格备注

    价格仅供参考,由于受国际汇率、运费等不确定因素影响,下单前需重新确认,望理解。

  • 相关资料

  • 参考交货期

    6-8周

  • 交易条件

  • 相关URL

  • 更新日期

    2025-03-26

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