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IAS晶圆金属异物分析 LA-GED-MSAG-ICP-MS_J
供求NO.
442977
销售对象
技术
产品分类
加工分类
其他
制品用途
对应材质
说明
在大气中发射飞秒雷射,用喷射器吸出释放出的微粒,用GED取代空气和Ar,可以直接用ICP-MS分析Ar气体中的微粒。
•传统的LA-ICP-MS无法直接分析晶片样品,而LA-GED-MSAG-ICP-MS实现了这一目标。
•VPD-ICP-MS的某些元素因药液的种类而难以回收,而LAICP-MS则没有这种问题。
•通过使用MSAG,可以通过标准添加法进行高精度的定量分析。
•可检测约10 μm斑点直径的金属杂质信息。
•可检测直径约20nm的微粒子。
•增加焦距深度可实现深度方向分析。
参考价格
6,000 RMB
参考价格备注
价格仅供参考,由于受国际汇率、运费等不确定因素影响,下单前需重新确认,望理解。
相关资料
参考交货期
6-8周
交易条件
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更新日期
2025-03-26
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